抗粘劑涂膠機(jī)，抗粘 劑真空預(yù)處理系統(tǒng)重要性

  在納米壓印工藝中為防止在退模過程中模板與壓印膠相互粘連破壞結(jié)構(gòu)，我們需要給模板制備抗粘層，制備抗粘層的方法以及模板的結(jié)構(gòu)也會(huì)影響到終的抗粘效果。當(dāng)模板結(jié)構(gòu)在100nm以下時(shí)，在液相中制備的抗粘層就不能*起到抗粘的作用。這是因?yàn)樵谀０宓慕锹渲袝?huì)滯留一部分空氣而導(dǎo)致抗粘材料無法到達(dá)這些位置然而，若采用氣相的方法則不存在這樣的問題。

抗粘劑涂膠機(jī)，抗粘 劑真空預(yù)處理系統(tǒng)參數(shù)

工作室尺寸 350×350×350，450*450*450（mm），可定制

材質(zhì) 外箱優(yōu)質(zhì)SUS#304不銹鋼，內(nèi)腔采用316L醫(yī)用不銹鋼

溫度范圍  可調(diào)節(jié)

溫度分辨率 0.1℃

溫度波動(dòng)度 ≤±0.5

潔凈度 設(shè)備采用無塵材料，適用100光刻間凈化環(huán)境

電源及總功率 AC 220V±10% / 50HZ     總功率約3.5KW  

控制儀表 人機(jī)界面+PLC

擱板層數(shù) 1-4層

抗粘劑添加量可調(diào)

真空泵 無油泵

抗粘劑涂膠機(jī)，抗粘劑真空預(yù)處理使用條件

環(huán)境溫、濕度5℃～＋35℃，相對(duì)濕度：≤85%；

周圍無強(qiáng)烈震動(dòng)；  

周圍無高濃度粉塵及腐蝕性物質(zhì)；

周圍無強(qiáng)烈電磁場影響；

設(shè)備應(yīng)放在堅(jiān)固平穩(wěn)的平面上，并使其保持水平狀態(tài)；

不小于0.3MPa高純氮?dú)猓?/span>

安裝設(shè)備使用空開電源 ；

有機(jī)尾氣排放管道。