百級無塵烘箱，不銹鋼無塵烤箱性能
控制界面：彩色液晶觸摸屏/LED按鍵控制儀表；
運行方式：可程式運行/定值運行；
內(nèi)箱材質(zhì)：SUS304不銹鋼；
外箱材質(zhì)：SUS304不銹鋼；
無塵等級：Class 100;
溫度范圍：RT+10～200/300/400℃；
溫度波動度：±0.5℃；
溫控精度：±0.1℃;
進(jìn)氣口：φ8mmN2進(jìn)氣、流量計控制;
降溫方式：風(fēng)冷;
工作室尺寸：D800×W900×H900（mm）；(可自定尺寸）
網(wǎng)板：2-4層；
潔凈度：100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。
百級無塵烘箱，不銹鋼無塵烤箱特點
1.優(yōu)質(zhì)HEPA過濾器，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100；
2.全周氬焊無縫焊接，無發(fā)塵不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采用特殊的送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
4.強制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到*溫度控制精度。
無塵烤箱的應(yīng)用
無塵烤箱、潔凈烘箱用于IC生產(chǎn)中前烘、后烘烤、堅膜、裝片機后端烘烤、塑封封裝烘烤、光刻膠固化、治具干燥、薄膜烘烤、硅片干燥等工藝。主要應(yīng)用范圍有電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
